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Affrontare le sfide del controllo del movimento nelle applicazioni di nanometrologia

Apr 26, 2023

La richiesta di tavoli con capacità nanometrica sta aumentando in modo esponenziale poiché continua la tendenza a ottenere maggiore precisione e controllo nelle applicazioni di metrologia e nanometrologia.

Con l'avvento di tecnologie di sensori all'avanguardia, le capacità di misurazione sono diventate sempre più sensibili, consentendo il rilevamento e la caratterizzazione di caratteristiche e deviazioni minime nei campioni. Per sfruttare tutto il potenziale di questi sensori avanzati, è essenziale disporre di stadi di controllo del movimento in grado di spostare i campioni o i sensori con estrema precisione e stabilità.

La capacità di percorrere diverse centinaia di millimetri mantenendo una precisione a livello nanometrico apre nuove possibilità per la ricerca, il controllo qualità e i processi di produzione che richiedono misurazioni complesse e regolazioni precise. Di conseguenza, lo sviluppo di stadi con capacità nanometrica è diventato cruciale per soddisfare le esigenze della metrologia moderna e sbloccare ulteriori progressi in vari settori.

Eventuali imprecisioni o errori nel movimento possono influenzare significativamente i risultati della misurazione. Anche piccole deviazioni o vibrazioni durante il movimento dei sensori possono introdurre rumori e artefatti indesiderati, compromettendo la precisione complessiva delle misurazioni.

"Per superare questa sfida, i sistemi di movimento devono essere progettati con precisione e stabilità eccezionali. Devono essere in grado di raggiungere una risoluzione sub-nanometrica e mantenere tolleranze strette nell'intero intervallo di movimento. Superando la precisione dei sensori, questi sensori ad alta precisione i sistemi di movimento di precisione garantiscono che le misurazioni ottenute non siano limitate o compromesse dal movimento stesso, consentendo ai ricercatori e alle industrie di raggiungere il massimo livello di precisione di misurazione possibile," spiega il presidente di ALIO Industries Bill Hennessey

Per tali applicazioni, ALIO fornisce i suoi stadi Z verticali e le basi XY monolitiche. Gli stadi Z di ALIO si distinguono per il loro design innovativo, offrendo una soluzione verticale completamente lineare e che offre prestazioni paragonabili ai sistemi con cuscinetti ad aria.

Hennessey continua: "Ciò che distingue lo stadio Z di ALIO è la sua eccezionale precisione, che supera di un ordine di grandezza le tradizionali soluzioni con cuneo Z. Ciò significa che il nostro stadio Z può raggiungere livelli senza precedenti di precisione e stabilità nelle applicazioni di posizionamento verticale."

Eliminando gli inconvenienti associati ai tradizionali meccanismi a cuneo Z, come la non linearità e l'isteresi meccanica, il design unico di ALIO garantisce un movimento verticale coerente e affidabile con risoluzione sub-nanometrica, aprendo nuove possibilità per applicazioni nanometrologiche e nanotecnologie, produzione di semiconduttori e produzione di ottiche, consentendo agli OEM di raggiungere livelli di prestazioni precedentemente irraggiungibili con le soluzioni convenzionali.

L'utilizzo di un tavolino Z verticale su una base XY monolitica consente di montare il carico utile del cliente direttamente sulla parte superiore del tavolino in linea con il motore, l'encoder, i cuscinetti e il contrappeso, riducendo così al minimo le staffe sporgenti e riducendo notevolmente i potenziali errori di Abbé ( distorsioni ottiche che si verificano a causa della variazione delle lunghezze focali per diverse lunghezze d'onda della luce, con conseguenti frange cromatiche e ridotta nitidezza dell'immagine).

Le fasi monolitiche XY di ALIO introducono rettilineità e planarità della corsa mai viste prima con precisione nanometrica per ridurre l'incertezza di misura per gli OEM di metrologia, garantendo dati di misura più precisi e affidabili, fondamentali per il controllo di qualità, la ricerca e i processi di produzione di prossima generazione.

Per maggiori informazioni: www.alioindustries.com

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